-
Plachete SOI de mare viteză Izolator cu siliciu pe izolație de putere redusă pentru circuite integrate și MEMSPlachete SOI, siliciu pe izolator, unde un strat subțire de siliciu se află pe un substrat izolator, permit funcționarea de mare viteză, cu putere redusă prin reducerea capacității, curentul de scurgere și creșterea vitezei de comutare, adoptate pe scară largă în microelectronică și emergente în fotonică și MEMS.